電弧穩(wěn)定性的影響因素：

磁場、陰極表面的清潔程度、靶面的幾何尺寸、幾何形狀及表面狀態(tài)、陰極靶面的表面溫度、電弧電流的大小、真空室內(nèi)真空度及各組分氣體分壓種類等。

磁場對(duì)電弧穩(wěn)定性的影響：

在無外加磁場的情況下,  陰極電弧為堆團(tuán)狀。 產(chǎn)生這種堆團(tuán)狀弧斑的原因有二點(diǎn): 其一是電弧本身產(chǎn)生的自磁壓縮。 其二是由于弧斑的集中, 使弧斑下的明極靶面溫度極高, 產(chǎn)生大量的熱電子發(fā)射, 導(dǎo)致弧斑的再集中。 無規(guī)則運(yùn)動(dòng)的弧斑很容易移到非蒸發(fā)面造成電弧的熄滅。磁場設(shè)置的是否合理,直接影響到多弧靶工作的特性。

陰極表面的清潔程度對(duì)電弧穩(wěn)定性的影響：

 在相同的放電條件下表面很清潔的陰極引弧比較困難, 而表面有污染的陰極引弧卻很容易。陰極表面有污染時(shí)容易產(chǎn)生表面的電子發(fā)射。一般污物本身含有多種成分,容易發(fā)射電子,另一方面受污染的陰極表面其電子的逸出功降低也比較容易產(chǎn)生電子發(fā)射。多弧設(shè)各的陰極靶源其表面通常含有初始污染(氧化層等), 由于氧可發(fā)射大量的電子,初始電弧更容易發(fā)生在有污染的地方,  直到表面污染被蒸發(fā)完畢才開始正常的靶材蒸發(fā)。 所以在靶源的裝配過程中, 應(yīng)保證在清潔的狀態(tài)下進(jìn)行,盡量使靶表面特別是非蒸發(fā)表面不受污染,防止在非蒸發(fā)面起弧,提高靶工作的穩(wěn)定性和可靠性。另外陰極表面上大量的小孔也會(huì)引起對(duì) 電弧穩(wěn)定性的產(chǎn)生嚴(yán)重干擾 。

幾何尺寸及幾何形狀對(duì)電弧穩(wěn)定性的影響：

電弧放電弧斑受到靶源邊界的限制。陰極靶面面積越大,可供弧斑移動(dòng)的區(qū)域就越大, 越益于電弧的穩(wěn)定燃燒。 在磁場設(shè)置等條件相同的情況下, 靶源蒸發(fā)表面為平面時(shí)不容易維持電弧的穩(wěn)定燃燒,,而將靶面加工成凹面時(shí)電弧燃燒比較穩(wěn)定 。 

靶面表面溫度對(duì)電弧穩(wěn)定性的影響：

多孤高子鍍?cè)O(shè)備靶源的陰極電弧放電燃燒的穩(wěn)定性依賴于陰極蒸發(fā)表面的溫度,  陰極表面溫度的降低會(huì)帶來電弧燃燒很高的穩(wěn)定性。 所以在多弧靶源的設(shè)計(jì)中, 應(yīng)注意給陰極靶以充分的冷卻,  最好采用直接水冷, 間接水冷時(shí), 陰極座等相鄰部件應(yīng)選用導(dǎo)熱性能良好的材料。

弧電流對(duì)電弧穩(wěn)定性的影響：

陰極斑點(diǎn)上所能承受的電流值是一定的, 陰極斑點(diǎn)數(shù)與電弧電流值成正比。 隨著電弧電流的增加,陰極斑點(diǎn)的數(shù)目也增加,電弧電流越大,電弧斑點(diǎn)數(shù)就越多, 滅弧的可能性就越小 。