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真空鍍膜--光學(xué)鍍膜機的維護與保養(yǎng)

發(fā)布日期:2021-10-18 09:54:59   瀏覽量 :1056
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光學(xué)鍍膜機主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組及電柜(控制電柜、電子槍電柜)組成,其廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)成膜、民用裝飾、表面工程等領(lǐng)域。


        光學(xué)鍍膜設(shè)備工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當(dāng)?shù)臏囟龋牧鲜軣岷笳舭l(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大,蒸發(fā)出來的蒸汽分子向四處直射,碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。


        光學(xué)鍍膜機維護與保養(yǎng)主要包換電子槍安裝與維護、光路的檢修與維護、設(shè)備的清洗與保養(yǎng)。


一、電子槍安裝與維護


        電子槍蒸發(fā)源控制系統(tǒng)是由電子槍燈絲電源、高壓電源、掃描電源、坩堝驅(qū)動電源、蒸發(fā)源等組成一個電子槍控制電柜。


        電子槍控制電柜內(nèi)含有高壓,在工作前必須保證柜門各個聯(lián)鎖裝置正常工作,非專業(yè)人員不得打開電柜門,電子槍在工作時不得打開電柜門,整個電柜必須有良好的接地并與機臺接地連接。


        電子槍蒸發(fā)源安裝在真空室底板上,必須與底板有良好的接地效果,安裝蒸發(fā)源必須使用不銹鋼螺絲來固定,周邊200mm以內(nèi)不得有導(dǎo)磁的物體,否則會影響到電子槍的光斑成表,造成電子性能的不良。電子槍檔板應(yīng)盡量裝在蒸發(fā)源坩堝的中心上30mm處,以不影響電子束的發(fā)射為好。


        電子槍蒸發(fā)源是一個精密機械加工體,在工作時必須保證有良好的冷卻水,如過高的溫度會影響電子束的成型及各密封圈的性能。


(一)電子槍頭
電子槍的槍頭安裝好壞直接影響到工作的正常進行,其發(fā)生的故障有90%同電子槍槍頭有關(guān)。
電子槍槍頭有使用一段時間后,會因為組件的污染而影響電子束的成型及功率,需要拆卸清潔。


(二)坩堝的維護
        拆坩堝之前,請先關(guān)掉水路用壓縮空氣把電子槍冷卻管內(nèi)的水分盡可能吹干凈。

蒸發(fā)源裝卸順序:
1.拆落兩條冷卻水連接管。2.擰出電子槍槍頭連接高壓線兩個螺絲。3.拆坩堝傳動連接座、聯(lián)軸器。4.擰落蒸發(fā)源四個固定螺絲。5.把蒸發(fā)源搬運到一個穩(wěn)定平整的工作臺。6.拆落坩堝蓋板四個螺絲,取下蓋板打磨干凈。7.檢查蓋板上面兩個密封圈是否需要更換。8.把蒸發(fā)源反轉(zhuǎn)過來倒置,用木板墊住坩堝部分。9.擰下固定坩堝轉(zhuǎn)動四個螺絲10.抬起蒸發(fā)源,取下坩堝 11.把坩堝倒置,擰下坩堝底蓋的八個螺絲,清洗干凈里面的污垢,檢查是否需要近密封圈。12.擰下導(dǎo)水管的一個螺絲13.擰下坩堝轉(zhuǎn)動機構(gòu)與坩堝蓋板連接的四個螺絲 14.撥出坩堝轉(zhuǎn)動軸,檢查轉(zhuǎn)動軸的油封是否需要換件 15.把坩堝清潔干凈安裝。安裝按上面的倒過順序來進行。


(三)導(dǎo)磁板及掃描圈的維護
       導(dǎo)磁板及永磁鐵是不需要經(jīng)常拆卸維護,如需拆卸,請注意永磁鐵的極向,及導(dǎo)磁板的方向。線圈由于安裝的空間密實,請不要使用硬尖的東西撬動,否則有可能會造成損壞。


二、光路的檢修與維護


       光路調(diào)整的先決條件是:確保直流穩(wěn)定電源、調(diào)制光源頭、光纖、光柵單色儀、光電轉(zhuǎn)換放大器、光學(xué)膜厚儀及各專用電纜的完好和正確接入。特別是光電轉(zhuǎn)換放大器、光學(xué)膜厚測量儀的接地點,必須單獨歸至主機接點牢固接地。


三、光學(xué)鍍膜機的清洗


       設(shè)備使用一個星期后(三班),因鍍料除鍍在工件表面 外,亦因無定向性而工作室 內(nèi)的襯板上鍍料,并越鍍越厚,該層膜厚因組織、繞疏松,吸收大量氣體而造成真空鍍膜設(shè)備抽氣越來越慢。此時,應(yīng)對工作室及襯板進行清洗,如不必要拆落來的部件,可用砂紙打磨干凈,襯板可浸泡在氫氟酸水溶液里,氫氟酸和水的比例看需要浸泡時間長短以及不傷襯板為原則。


注:襯板必須烘干水份才能安裝,烘干前,襯板的水分盡量抹干,工作架等部件用砂紙清潔后,需要把真空室的所有灰塵清理干凈,此可用吸塵器吸干凈灰塵。最后安裝襯板時,真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。


        因使用電子槍及離子源輔助鍍膜,可能會造成清潔困難,可使用噴沙等方法來清潔。


四、光學(xué)鍍膜機的保養(yǎng)


(一)定期更換擴散泵油
       擴散泵油使用一段時間,約二個月(兩班),因在長期高溫環(huán)境,雖然較高真空時才啟動擴散泵,但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴散泵油起反應(yīng),擴散泵油在高溫下也可能產(chǎn)生裂解,使其品質(zhì)下降,而延長抽氣時間。在我們認(rèn)為時間延長得太多時,應(yīng)予更換。


(二)真空泵
       機械泵油、維持泵油在使用二個月,油質(zhì)會發(fā)生變化。因油可能抽入水分、雜質(zhì)及其它原因,而使用油粘性變差,真空下降,故需要更換。如為新設(shè)備,在使用頭半個月即應(yīng)更換,因在磨合期,油含磨合鐵粉較多,會加劇磨損。


(三)清潔衛(wèi)生
       定期將設(shè)備及其周圍環(huán)境衛(wèi)生搞好,常保持設(shè)備內(nèi)外清潔,將設(shè)備周圍環(huán)境整理有條,有一個好的工作環(huán)境,以保安全。

工作
電子
蒸發(fā)源
電子槍
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