1，隨著氣體壓力升高，在弧光放電過(guò)程中，單位時(shí)間內(nèi)碰撞次數(shù)增加，電子與其他重粒子之間發(fā)生充分的能量交換，電子溫度與氣體溫度，離子溫度逐漸趨于相等，等離子體由非平衡狀態(tài)過(guò)渡到熱平衡狀態(tài)。

2，等離子體相對(duì)與處于浮動(dòng)電位的物體來(lái)說(shuō)，一半處于正電位。

3，弧光放電級(jí)間電壓很低，電極上的電流密度很大，陰極附近的高密度電流，大部分由陰極表面的電子攜帶，而不是由電離形成的正離子攜帶。

4，真空電弧的電流密度很大，電弧本身的電流在周?chē)猩鷱较虼艌?chǎng)，產(chǎn)生洛倫茲力，在電磁力的作用下，電弧向軸線(xiàn)壓縮，產(chǎn)生磁壓縮效應(yīng)

5，冷陰極弧光放電的電子發(fā)射機(jī)制i主要是場(chǎng)致發(fā)射。

6，“起弧”定義：在刻蝕和涂層階段，由涂層電源提供等離子體，在

等離子體中包含大量的正離子和電子，如果此時(shí)在基體和腔體之間加上

負(fù)向偏壓，則一部分正離子會(huì)被吸附到基體上，同時(shí)電子會(huì)被吸引到腔

體，形成偏壓電流。正常情況下,偏壓電流均勻分布到基體和腔體之間。

但是特殊情況下，偏壓電流突然上升，并且大部分電流都從工件上某個(gè)

特定位置流過(guò)，這種情況我們稱(chēng)之為“起弧”。起弧現(xiàn)象會(huì)引起工件灼

傷，嚴(yán)重甚至報(bào)廢。

“起弧”原因：關(guān)于起弧的原因有很多，在工作中我們發(fā)現(xiàn)除了設(shè)

備不正常導(dǎo)致偏壓電流突然上升外，引起起弧的原因主要有兩個(gè)。在刻

蝕階段主要是由于前處理（清洗和噴砂）不充分，導(dǎo)致工件過(guò)臟，這些雜

質(zhì)在等離子體中會(huì)被二次電離，從而釋放出過(guò)多電子，導(dǎo)致偏壓電流突

然上升。在涂層階段，基本上是由于工件在大盤(pán)（即裝載工件的架子，和

偏壓電源陰極直接相連）上未進(jìn)行正確裝載，導(dǎo)致接觸電阻不斷變化。

因?yàn)槠珘弘妷翰蛔?，所以電壓?huì)集中到電阻最大的地方，導(dǎo)致這個(gè)區(qū)域

附近的工藝氣體發(fā)生電離，產(chǎn)生“起弧”。